-初心者のための- クリーンルーム入門 [書籍紹介]
- 作者:
- 出版社/メーカー: 日本工業出版
- 発売日: 2010/07
- メディア: 単行本
＜目次＞
- 第1章 クリーンルーム設計の予備知識
クリーンルームとは / クリーンルームに使用される構成部材・関連設備 / クリーンルーム関連計測機器・用品 - 第2章 クリーンルームの計画・設計
クリーンルームの計画 / クリーンルームの設計 - 第3章 クリーンルームの施工
クリーンルーム施工のポイント / クリーンルーム施工の合理化 / クリーンルームの安全性 - 第4章 クリーンルームの性能評価
クリーンルームに関する規格類 / 性能評価試験 / 空気中の分子汚染物質(AMCs) - 第5章 クリーンルームの維持管理
モニタリングと作業者の管理 / 衣服・清浄化・設備
タグ：クリーンルーム
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